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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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Wax Mounting

Wax Mounting

NTS的上蜡工艺是使用蜡,将Wafer固定在陶瓷盘上的工艺。 本工艺中蜡 Layer与晶片合成的厚度发生偏差时,其在后的Grinding、Lapping、Polishing工艺中继续影响TTV。 因此,考虑到原本晶片的厚度偏差,需考虑适当蜡的喷出量、喷出方式、Press时间、温度等诸多变数。 NTS Wax mounter可感知这些外部工艺因素的变化,并内置各种便利功能,生产出常规稳定的结果,并根据晶片的大小、厚度、产量等配有多种设备系列。

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