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양면그라인딩 NSDG 시리즈
양면그라인더 NSDG 시리즈는 얇고 깨지기 쉬운 소재의 양면을 동시에 빠르게 가공할 수 있는 이상적인 장비입니다. 이 장비는 사파이어 웨이퍼 및 스마트폰용 커버 글라스, 각종 광학 부품 가공에 폭넓게 사용 가능합니다. 모바일 애플리케이션을 위한 커버 글라스의 경우 다량의 가공물을 동시에 양면 가공하며 정확한 두께로 가공을 보장합니다. NTS의 독창적인 기술로 자동으로 정반의 속도와 압력을 조정하여 매 회 일정한 MRR을 나타내며 원하는 두께까지 자동 측정하여 가공을 완료합니다. 특히 특수한 구조의 메인 베어링과 편리한 정반 쿨링 시스템은 장비와 정반의 내 마모성과 평행도 유지에 적합하며 4-way 4-motor를 적용하여 다양한 엔지니어의 요구에 대응할 수 있습니다. NTS의 오랜 경험에 의해 개발된 양면 그라인딩 시리즈는 깨짐이나 칩핑 없이 빠르게 원하는 두께를 만들어야 하는 각종 응용분야에 최적의 장비입니다.
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양면래핑 NSDL 시리즈
양면래핑 NSDL 시리즈는 얇고 깨지기 쉬운 파트에 매우 이상적입니다. 이 장비는 사파이어, 실리콘, 반도체와 광학 제조에 아주 우수합니다. 이 시리즈는 멀티웨이 공정, 컴퓨터화된 프로그램, 자동두께컨트롤 시스템을 특징으로 양면을 동시에 래핑 & 폴리싱 하는 시스템입니다. 이 시스템의 독특하고 견고한 구조를 기반으로 사파이어 모바일 애플리케이션과 같은 얇은 제품을 탁월한 성능으로 일정한 래핑 압력을 보장합니다. 오랜 경험에 의해 개발된 NTS의 래핑 & 폴리싱 공정 노하우는 스크래치, 칩핑, 크랙을 극적으로 제거하고 래핑정반의 마모를 최소화합니다.
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양면폴리싱 NSDD 시리즈
양면폴리싱 NSDD 시리즈는 얇고 깨지기 쉬운 소재에 대하여 양면을 동시에 빠르게 폴리싱 할 수 있는 적합한 장비입니다. 이 장비는 사파이어 웨이퍼 및 스마트폰용 커버 글라스, 각종 광학 부품 가공에 폭넓게 사용 가능합니다. 동시에 다량의 가공물을 양면 가공하여 정확한 두께 및 우수한 표면 조도로 가공을 합니다. NTS의 독창적인 기술로 정반을 분리하지 않고 상하의 정반을 원하는 형상으로 Facing 과 Grooving가공도 가능하며 원하는 두께까지 자동 측정하여 가공을 완료 합니다. 특히 특수한 구조의 메인 베어링과 우수한 개별 상/하 정반 쿨링시스템은 장비와 정반의 내 마모성과 평행도 유지에 적합하며 4-way 4-motor를 적용하여 다양한 엔지니어의 요구에 대응할 수 있습니다. NTS 의 오랜 경험에 의해 개발된 양면 폴리싱 시리즈는 깨짐이나 칩핑 없이 빠르게 원하는 두께 및 조도를 만들어야 하는 각종 응용분야에 최적의 장비입니다.
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양면 CMP NSDC 시리즈
양면 CMP NSDC 시리즈는 얇고 깨지기 쉬운 소재의 양면을 동시에 빠르게 CMP할 수 있는 완벽한 장비입니다. 이 장비는 사파이어 웨이퍼 및 스마트폰용 커버 글라스, 각종 광학 부품 가공에 폭 넓게 사용 가능합니다. 동시에 다량의 가공물을 양면 가공 하여 우수한 표면 조도로 가공을 합니다. NTS의 양면 폴리셔는 고압의 DI를 분사하여 패드의 상태를 초기화 하는 고압 분사 장치가 구성되며 특수한 재질의 정반을 사용 온도 내에서 변형 없이 TTV 및 가공 시간 단축에도 유리합니다. 특히 특수한 구조의 메인베어링과 간편한 상/하 정반 쿨링시스템은 장비와 정반의 내 마모성과 평행도 유지에 적합하며 4-way 4-motor를 적용하여 다양한 엔지니어의 요구에 대응할 수 있습니다. NTS 의 오랜 경험에 의해 개발된 양면 CMP 시리즈는 깨짐이나 칩핑 없이 빠르게 원하는 두께 및 조도를 만들어야 하는 각종 응용분야에 최적의 장비입니다.
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왁스마운팅 NFB 시리즈
왁스마운팅 NFB 시리즈는 양면공정을 마친 웨이퍼를 DMP와 CMP 공정을 위해 파라핀 왁스를 이용하여 세라믹 블럭에 부착하는 시스템입니다. 이 모델은 특히 듀얼스핀 시스템으로 설계되어 최적의 생산량과 합리적인 가격으로 싱글 타입보다 2.5배 더 높은 UPH를 확보하였습니다. 자동블럭로딩/언로딩 기능이 있으며 2인치부터 8인치까지 웨이퍼를 공통으로 이용할 수 있습니다. NTS의 특유한 왁스레이어 통제 기술로, 이 장비는 균일한 왁스레이어와 세라믹플레이트에 정교한 부착을 보장합니다.
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단면 DMP NSD 시리즈
단면 DMP NSD 시리즈는 경질의 레진카파 정반에 다이아몬드 연마재를 사용하여 고효율성을 성취할 수 있습니다. 이 장비는 자동으로 세라믹블록을 정위치시켜 사파이어 웨이퍼의 단면을 가공하는 세미오토 시스템입니다. 이 장비는 정반 페이싱 & 그루빙 시스템과 정반의 형상을 컨트롤하고 이에 맞게 TTV 편차를 최소화 할 수 있는 쿨링자켓과 같은 다양한 선진 기술을 장착하였습니다. 각각의 레시피에 따라 독립적으로 구동되는 드라이브와 정밀압력컨트롤 기능은 NTS의 단면 DMP 시리즈에서 가장 두드러진 특징입니다.
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단면 CMP NSC 시리즈
단면 CMP NSC 시리즈는 DMP 공정 이후 에피성장을 위해 경면과 같은 표면을 구현하기 위한 완벽한 선택이 될 것입니다. 일반적으로, 견고하고 깨지기 쉬운 물질은 전체 공정 동안 스크래치와 칩핑에 취약합니다. 이러한 이유 때문에 NTS의 단면 CMP에는 자동패드클리닝시스템, 저열 팽창계수 가진 베이스정반, 쿨링시스템과 부식방지 구조를 장착했습니다. 이 장비는 고객들의 요구사항과 다양한 최종 상품의 스펙을 맞추기 위해서 광범위한 구색으로 옵션이 이용 가능합니다.
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