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풀오토 CMP NFC 시리즈

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풀오토 CMP NFC 시리즈
풀오토 CMP NFC 시리즈는 카세트에 웨이퍼가 부착된 세라믹블록을 로딩 후 스타트 진행 시 전 공정을 로봇과 유닛들이 웨이퍼를 자동으로 CMP 하고 가공 완료된 제품이 언로딩 되는 전자동화 장비입니다. 이 장비는 4”부터 6”까지의 웨이퍼를 정밀하고 안정적으로 CMP 가공이 가능하며, 모든 동작을 로봇들이 진행하기 때문에 휴먼 에러 발생율을 최소화하여 높은 수율 및 빠른 생산성이 가장 큰 특징입니다. 장비의 활용 분야는 사파이어, 실리콘, 블루글라스, 스마트폰 애플리케이션을 위한 커버글라스 가공까지 모든 분야에 적용 가능합니다.
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