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Diamond Grinding Wheel
NTS는 설립 초기부터 LED용 사파이어 웨이퍼 등 high hardness material을 주력으로 발전해 왔습니다. 그리하여 빠른 절삭을 위한 Diamond wheel을 초기부터 개발하여 현재 4”~6” 사파이어를 위한 가장 빠르고 다음 단계인 Lapping에 적당한 Metal bond Diamond wheel을 보유하고 있으며 기타 Vitri, Resin wheel등 다양한 휠을 개발 판매 중입니다.
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Lapping Plate
Lapping M/C을 위한 정반은 크게 천연 정반 및 Resin 정반으로 나눌 수 있으며, 일반적으로 정반이 단단할 수록 입자가 큰 슬러리를 사용이 적당하며, 그렇지 않을 경우 효과가 다르게 나타납니다.
Resin 정반의 경우 특수 혼합 재질로 발열이 적으며, 온도에 따른 변화량도 최소화 하였습니다. 경도가 높은 재질, 특히 사파이어 웨이퍼에 최적의 절삭력과 조도를 나타냄니다.
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Slurry
Diamond slurry는 경질의 재료를 래핑 하기에 가장 효율적인 슬러리이며 NTS는 특별히 난삭재인 사파이어와 SiC 웨이퍼 등을 위한 슬러리를 다양하게 개발하여 보유하고 있습니다.
집중도가 높아 절삭력이 높으며, 각 사이즈의 중심값에 다이아몬드가 집중되어 일정한 절삭력 및 조도 특히 Rmax값 또한 우수합니다.
특히 다결정 슬러리는 스크레치 깊이가 깊지 않고, 압력에 의해 가공을 위한 새 날이 나와 빠른 연마도 가능합니다.
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Ceramic Block
Wafer와 같은 얇고 단단한 재질을 연마하기 위하여서는 평면도 평행도가 매우 우수하고, 웨이퍼 본딩을 위하여 열에 대한 변형이 매우 적은 세라믹 재질의 원형 Plate를 많이 사용합니다.
NTS는 Al2O3 99.6%의 순도가 높고 오염이 적은 세라믹 블록을 자사의 설비를 이용하여 직접 가공을 하여 평탄도, 조도 등을 사용자가 원하는 대로 제작 공급하고 있습니다.
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Condition Ring
다이아몬드 슬러리를 연질에 정반에 사용하여 래핑 공정을 수행할 경우 작업 전에 다이아몬드 슬러리를 정반 위에 골고루 Charging할 수 있는 Condition ring이 필요합니다.
NTS는 Al2O3 재질의 세라믹 링을 사용하여 오염이 없고, 효과를 높인 드레싱 링을 공급하고 있습니다.
자사의 세라믹 플레이트와 대응이 되는 최적의 링을 구비하고 있으며, 특수 목적의 형상 제작도 가능합니다.
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Facing Bite
정밀한 다이아몬드 래핑을 위해서는 정밀하게 가공이 된 래핑 정반이 필요합니다.
연질의 다이아몬드 래핑용 정반의 표면 Facing가공 및 홈 Grooving가공을 위하여 NTS에서 특수하게 제작하여 공급하고 있습니다.
Tip의 재질은 보통 연질 정반에 맞게 PCD, 단결정 다이아몬드, 초경 등을 이용하여 제작이 되고 있으며,끝단의 구배(Nose R)는 0.1R~2R까지 다양합니다.
고품질의 PCD를 이용하므로 열변형이 적고 내마모성이 우수하며, 가공 후 표면 조도 또한 우수합니다.
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Wax
두께가 얇은 웨이퍼 등을 연마하기 위해서는 웨이퍼를 일정한 두께로 세라믹 블록 등에 부착하여야 합니다.
NTS에서 공급하고 있는 Paraffin 계열의 Wax는 정확한 Melting Point를 가지고 있으며, 해당온도에서 점도가 낮아 두께가 일정하고, 세척 후에 는 잔유물이 없어 반도체용 웨이퍼 부착에 최적의 성능을 보입니다.
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Dressing Stone
정밀한 다이아몬드 휠을 이용한 그라인딩에는 휠을 최적화 할 수 있는 드레싱 스톤이 공동으로 개발 되어야 합니다.
NTS에서 공급하고 있는 Dressing stone은 Diamond wheel과 같이 개발이 되어 있으며, 각각의 휠과 최적의 조합을 이룹니다. 순도가 높고 첨가물이 고르게 배열이 되어 휠의 손상은 줄여 주고 드레싱, 트루잉 효과는 높여 줍니다.
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