Wax Mounting
Wax Mounting
NTS 의 왁스 마운팅 공정은 왁스를 사용하여 Wafer 를 세라믹 플레이트에 고정하는 공정입니다. 본 공정에서 왁스 Layer와 웨이퍼를 합친 두께가 편차가 생기게 되면 그 뒤 공정인 Grinding, Lapping, Polishing 공정에서 TTV에 계속 영향을 주게 됩니다. 때문에 본래의 웨이퍼 의 두께 편차를 감안하여 적절한 왁스 의 토출량, 토출 방식, Press 시간, 온도 등 많은 변수를 고려해야 합니다. NTS Wax mounter 는 이러한 여러가지 외부 공정 변수들의 변화를 감지하여 항상 일정한 결과값이 나올 수 있도록 각종 편의 기능들이 내장되어 있으며 웨이퍼의 사이즈, 두께, 생산량 등에 따라 다양한 장비 라인업을 보유하고 있습니다.
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NFB-4150NFB-4150 장비는 전자동 장비로서 카세트에 웨이퍼와 세라믹 블록을 로딩 후 스타트 진행 시 전 공정을 로봇과 유닛들이 세라믹 블록에 웨이퍼를 자동으로 왁스 본딩하는 장비입니다
Automatic wafer array system Wax spin coating system Minimal wax layer deviation
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NSB-1360FDNSB-1360FD 장비는 Wax Spin Type 왁스 마운터 장비입니다
Automatic Wafer Array System Wax Spin Coating System Minimal Wax Layer Deviation
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NFB-6485DNFB-6485D 모델은 양면공정을 마친 웨이퍼를 DMP와 CMP 공정을 위해 파라핀 왁스를 이용하여 세라믹 플레이트에 부착하는 시스템입니다
Automatic Wafer Array System Wax Spin Coating System Minimal Wax Layer Deviation
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NSB-1305ENSB-1305E 모델은 세미오토 장비로 웨이퍼와 세라믹 블록을 로딩 후 웨이퍼가 자동으로 세라믹블럭에 가압하여 마운팅하는 시스템입니다.
Automatic Wafer Array System Wax Spin Coating System Minimal Wax Layer Deviation