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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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Lappers

NFL-4020

NFL-4020

NTS NFL-4020 모델은 다양한 사이즈의 웨이퍼를 최소의 두께편차로 래핑 가공이 가능한 장비이며, 모든 동작을 로봇들이 진행하기 때문에 휴먼 에러 발생률을 최소화하여 높은 수율 및 빠른 생산성이 가장 큰 특징입니다. 한번에 8축에서 자동으로 lapping가공이 가능하며 워크 스핀들은 직각 타입으로 최소 TTV가 유지되며 가공을 하고 좌우 Oscillation을 하여 정반 변화량도 매우 적게 유지됩니다. 두께 측정 장치가 있어 설정 두께를 자동으로 맞추어 가공하며 가공 후 로봇이 블록을 이동하여 세정 한 후 공정을 완료합니다.

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Technology

Mapping이 끝난 후, EFEM 로봇이 웨이퍼를 얼라이너로 이송하고 WTR로봇이 웨이퍼를 가압판으로 이송하여 다이아몬드 슬러리와 정반에 의해 타겟 두께까지 가공됩니다. 이 시스템의 독특하고 견고한 구조로 얇고 깨지기 쉬운 제품을 일정한 공정 압력을 유지하며 제품의 파손 없이 완벽한 표면 상태를 만들어냅니다.

Features

  • Design to process various materials with reasonable cost

    Integrated cleaning System

  • Live time interface for process monitoring

    Adoption of high-rigidity, low-vibration spindle

  • Simple structure & Easy Operation

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • GaN
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • 2,000(W) * 3,000(L) * 2,200(H)mm / 5.0T
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