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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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Lappers

NSL-4036FD

NSL-4036FD

NTS NSL-4036FD 모델은 BTR (블럭이송로봇 : Block Transfer Robot) 과 자사 래핑 장비 2대를 결합한 모델입니다. Ø360 세라믹 블록을 사용하여 4” 사파이어 웨이퍼 7장(6”는 3장)을 부착하여 4축 동시 가공하며 3개의 카세트에 최대 168장의 웨이퍼가 한번에 로딩됩니다. 두께 측정 장치가 있어 타겟 두께를 자동으로 맞추며 가공 후 로봇이 블록을 이동하여 세정까지 한 후 공정을 완료합니다.

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Technology

래핑 공정 특성 상 공정 중 온도 컨트롤이 매우 중요합니다. 본 장비는 IR Sensor 와 PID 제어를 통해 공정온도가 일정 수준을 넘지 않도록 제어합니다. 4축의 가압장치는 고강성 스핀들을 사용하여 극한의 가공 조건에도 장비의 부하를 최소화하며 자동 Facing & Grooving 시스템으로 래핑 정반의 평탄도를 매우 정밀하게 컨트롤합니다.

Features

  • Design to process various materials with reasonable cost

    Integrated cleaning System

  • Live time interface for process monitoring

    Adoption of high-rigidity, low-vibration spindle

  • Simple structure & Easy Operation

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • GaN
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • 3,800(W) * 3,300(L) * 2,400(H)mm / 8.0T
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