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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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Lappers

NSD-4036/4050

NSD-4036/4050

NTS NSD-4036/4050 모델은 단면 래핑기로 Resin Copper 정반에 다이아몬드 연마재를 사용합니다. 본 장비는 자동으로 웨이퍼가 마운팅된 세라믹 블록을 정 위치시켜 사파이어 웨이퍼의 단면을 가공하며 정반의 미세 형상을 컨트롤하기 위해 Facing & Grooving System을 장착하고 있습니다. 공정 중 온도 상승을 막기 위한 온도 제어 시스템과 특수한 정반 하부 자켓 구조, 정밀 압력 제어 기능 등 NTS 만의 노하우가 집약되어있습니다.

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Technology

일체식 구조의 견고한 Main frame과 대형 Cross roller 베어링 구조의 스핀들로 고품질의 lapping가공이 가능합니다. 또한 PID제어로 정반 온도를 제어하여 우수한 제품의 평탄도를 보장합니다. 자동 Facing & grooving 장치는 여러 형상의 정반 홈 가공 및 평면화 작업이 가능하며 36”~59”까지 다양한 사이즈의 장비 라인업이 준비되어있습니다.

Features

  • Design to process various materials with reasonable cost

    Live time interface for process monitoring

  • Adoption of high-rigidity, low-vibration spindle

    Automatic facing and re-grooving system

  • Multi step programming system

    Base plate cooling system

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • GaN
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • 1,400(W) * 3,300(L) * 2,700(H)mm / 7.7T(4050 기준)
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