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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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NSB-1360FD

NSB-1360FD

NTS NSB-1360FD 장비는 Wax Spin Type 왁스 마운터 장비입니다. Ø360 사이즈 세라믹 플레이트에 Ø4”를 7장 개별 마운팅하며 2개의 워크스테이션을 연결하여 타사 장비에 비해 생산량을 2배 이상 높였습니다. 정밀한 왁스 토출량 제어를 위해 왁스 노즐, Chamber 를 특수 설계하였으며 Heating 및 Press 작업의 효율성 증대를 위해 Press zone 하부에 정밀 Heater 와 자동 냉각 시스템을 내장하였습니다. 본딩 후 TTV(Wax thickness) 4㎛ 이내로 유지합니다

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Technology

전 자동으로 고체 스틱형 왁스를 녹여서 웨이퍼에 스핀 코팅한 후 세라믹 블록에 차례로 부착하는 왁스 마운터 장비입니다. Ø360 세라믹 블록을 사용하여 Ø4” 사파이어 웨이퍼 7장(Ø6”는 3장)을 부착 가능합니다. UPH 향상을 위해 Press zone 을 두 군데 설치하여 Press 시간을 단축하였으며 3개의 블록 카세트에 24장의 블록을 장착하여 가공합니다. Press 시에 각 웨이퍼의 두께 차이를 고려하여 7개의 개별 축으로 압력을 가하므로 웨이퍼 상태와 관계 없이 평행도가 보장됩니다.

Features

  • Automatic Wafer Array System

    Wax Spin Coating System

  • Minimal Wax Layer Deviation

    Modular, Flexible and compact design

  • Maximum process safety 

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • GaN
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • W2,400 * L4,200 * H2,000 / 4T
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