본문바로가기

Products

TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

  • Products
  • Others

Others

NFB-6485D

NFB-6485D

NTS NFB-6485D 모델은 양면공정을 마친 웨이퍼를 DMP와 CMP 공정을 위해 파라핀 왁스를 이용하여 세라믹 플레이트에 부착하는 시스템입니다. 이 모델은 특히 듀얼스핀 시스템으로 설계되어 압도적인 생산량과 합리적인 가격으로 싱글 타입보다 월등한 CoO 이점을 갖고 있습니다. 자동블럭로딩/언로딩 기능이 있으며 2인치부터 8인치까지 웨이퍼까지 본딩 가능합니다. NTS의 특유한 왁스레이어 통제 기술로, 이 장비는 균일한 왁스레이어와 세라믹플레이트에 정교한 부착을 보장합니다 .

문의하기

Technology

블록 카세트 타입의 전 자동 장비이며 액체 왁스를 스핀 코팅하여 웨이퍼에 도포 후 부착하므로 마운팅 후 최상의 TTV를 얻을 수 있습니다. Substrate wafer 제조에 주로 사용되며 UPH 증가를 목적으로 wax spin coating unit과 Baking unit은 2개가 설치되어 생산속도가 매우 빠릅니다.

Features

  • Automatic Wafer Array System

    Wax Spin Coating System

  • Minimal Wax Layer Deviation

    Modular, Flexible and compact design

  • Maximum process safety

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • GaN
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • W3,200 * L2,800 * H1,800 / 3T
Product List