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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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NSB-1305E

NSB-1305E

NTS NSB-1305E 모델은 세미오토 장비로 웨이퍼와 세라믹 블록을 로딩 후 웨이퍼가 자동으로 세라믹블럭에 가압하여 마운팅하는 시스템입니다. 이 장비는 2인치부터 4인치 뿐만 아니라 더 큰 사이즈인 8인치 웨이퍼를 최적화된 히팅, 쿨링 온도와 시간으로 일정한 왁스 두께 및 최소의 두께편차로 왁스마운팅이 가능합니다

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Technology

스틱형 고체 왁스를 핫멜트 상태로 점사 한 후 압력을 가하여 웨이퍼를 부착하는 왁스 마운터로 4” wafer 3매~7매를 카세트에 올린 후 시작 버튼을 누르면 이후 공정은 자동으로 진행됩니다. 구조가 간단하고 최종 가압 시 온도 조절을 통하여 웨이퍼 전 면적의 왁스 두께를 정확하게 유지하며 부착할 수 있습니다.

Features

  • Automatic Wafer Array System

    Wax Spin Coating System

  • Minimal Wax Layer Deviation

    Modular, Flexible and compact design

  • Maximum process safety 

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • GaN
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • W1,500 * L860 * H1,800 / 1.5T
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