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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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NFR-1150

NFR-1150

NTS NFR-1150 모델은 Full-auto 장비로 웨이퍼와 세라믹 블록을 빠른 시간안에 효율적으로 분리할 수 있는 장비입니다. 웨이퍼와 세라믹 블록을 고정하고 있는 왁스를 Heating 하여 녹인 후 웨이퍼를 천천히 밀면서 들어올려 떼어내는 방식으로 웨이퍼에 어떠한 파손이나 손상없이 완벽하게 분리해낼 수 있습니다

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Technology

본 장비의 핵심은 특수 설계된 Demounting Head 입니다. 왁스가 녹아 웨이퍼가 잘 밀릴 수 있는 순간에 Demounting Head 가 부드럽게 웨이퍼를 흡착하여 세라믹 플레이트에서 신속하게 분리합니다. 본 Head 는 웨이퍼를 떼어내는 과정에서 왁스의 장력에도 웨이퍼가 파손되지 않도록 완충작용을 할 수 있게끔 완벽하게 설계되어 매뉴얼로 디마운팅할때 보다 훨씬 효율적으로 장비를 운용할 수 있습니다

Features

  • Automatic Wax Heating System

    Zero Breakage & Scratch while demounting

Applications

  • Sapphire Wafer

Machine Specifications

  • W2,780 * L1,055 * H1,755 / 1.6T
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