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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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NSM-1360FD

NSM-1360FD

NTS NSM-1360FD 모델은 BTR(블럭이송로봇 : Block Transfer Robot) 과 자사 측정기 2대를 결합한 모델입니다. NTS 특주 사양의 접촉식 Probe 를 사용하여 반복 정밀도 1um 이하로 빠르게 웨이퍼의 두께를 측정할 수 있습니다. 항시 원점과 동시에 웨이퍼 를 터치하여 측정 오류를 방지하며 50가지의 Recipe 로 웨이퍼의 다양한 사이즈별 측정 포인트 위치 및 수량 변경을 용이하게 할 수 있습니다.

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Technology

2대의 두께 측정기 사이의 BTR robot이 블록을 번갈아 가며 공급하며 두께 측정기는 공급된 세라믹 블록의 웨이퍼를 빠르게 회전하며 7회 반복하여 측정합니다. 빠른 측정 속도 및 반복 정밀도가 높아 대량 양산 공정에 매우 적합합니다.

Features

  • High measuring speed

    Micrometer precision positioning control

  • Modular, flexible and compact design

    Wide scope of application

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • W3,300 * L2,200 * H2,300 /2.0T
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