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TOP-TIER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MAKER, NTS

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NFE-2150

NFE-2150

NTS 엣지 그라인더 NFE-2150 모델은 그라인딩 휠을 고속으로 회전시켜 원형 웨이퍼의 외경 및 모서리 부분을 원하는 치수, 형상, 조도 등을 갖게 가공하는 장비입니다. 정밀 CCD Sensor 를 사용하여 Aligner 가 빠르고 정확하게 웨이퍼의 형상을 파악하여 2개의 Work spindle 에 번갈아 웨이퍼를 Loading 합니다. 특수 제작된 정밀 휠 스핀들로 장비 부하 및 제품 손상 없이 고속으로 제품을 가공할 수 있으며 고객이 원하는 사양의 엣지 형상을 오차없이 구현 가능합니다. Edge Grinding 후 DIW 와 Detergent 로 세척 및 건조 후 Cassette 로 자동 Un-loading 하며 그라인딩 휠 자동 offset 등 사용자 편의 기능이 내장되어 있습니다.

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Technology

장비 하부 Main body 를 전체 주물 구조로 특수 제작하여 장비 진동이나 부하를 최소화하여 우수한 정밀도 및 안정적인 제품 고속 가공이 가능합니다. 간단한 Work Chuck 교환만으로 Ø2~ Ø6까지의 웨이퍼를 간단하게 Conversion하여 전체 형상 가공이 가능하며 추가적인 소형 고속 스핀들이 있어 C-shape, U-shape 및 Flat shape의 Notch 가공을 빠르게 연속 작업 할 수 있습니다.

Features

  • 可以升级至加工6寸晶片

    可以加工多种材质晶片

  • 精简的设备设计可以节省空间

    非接触式测量方式可以稳定对准

  • 研磨损伤最小化可以达到镜面光洁度

Applications

  • Silicon Wafer
  • Sapphire Wafer
  • GaAs Wafer
  • GaN
  • SiC Wafer

Machine Specifications

  • 2,100(W) * 1,400(L) * 2,000(H)mm / 3.5T
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